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因为专业，所以优秀 半导体高端湿制程设备工艺方案供应商

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全自动深度腐蚀机

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产品编号
所属分类
全自动深度腐蚀机
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1
产品描述

1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。
2、全自动设计，可完全腐蚀透硅片，取代划片机划片造成边沿毛刺和损伤。
3、酸液制冷循环，材料在工艺槽内旋转摆动，腐蚀均匀。
4、酸槽到水槽到出料全自动机械手臂操作。
5、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI，所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理，电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件；
6、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
7、设备设计标准按半导体行业标准（SEMI-S2-93）执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证。 

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发布时间：2019-06-26 00:00:00

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