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因为专业，所以优秀 半导体高端湿制程设备工艺方案供应商

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专注、专业、专心为您服务 集成IC，MOS功率器件，MEMS, SOI, GaAs, GPP，SIC，CaN，半导体陶瓷基片，半导体玻璃基片的湿制程设备系列

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炉管清洗机

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产品编号
所属分类
炉管清洗机
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-
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1
产品描述

1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。
2、全自动/手动设计，炉管自动旋转，尾部带冲洗功能。
3、酸液可回收重复利用，可洗炉管尺寸到半导体4"~12"或其它更大尺寸。
4、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI，所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理，电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件。
5、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
6、设备设计标准按半导体行业标准（SEMI-S2-93）执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证。  

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发布时间：2019-06-26 00:00:00

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